SEM納米探針臺(tái)
SEM納米探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)了三維空間上的精確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
壓電納米位移臺(tái)
壓電陶瓷電機(jī)是最近20年發(fā)展起來(lái)的新技術(shù)。使用壓電陶瓷電機(jī)的定位產(chǎn)品，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，尺寸緊湊，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的最小步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程不足，而微米電動(dòng)臺(tái)分辨精度不高的問(wèn)題。
卓聚科技率先在國(guó)內(nèi)研發(fā)出能產(chǎn)品化的壓電陶瓷電機(jī)線性位移平臺(tái)和旋轉(zhuǎn)臺(tái)等超精密位移產(chǎn)品，性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了此領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品空白?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、光通訊、生物醫(yī)療、電子顯微、先進(jìn)制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。
壓電多軸納米位移臺(tái)
壓電多軸納米位移臺(tái)，多個(gè)納米位移平臺(tái)組合而成的多軸運(yùn)動(dòng)和定位產(chǎn)品，包括2軸，3軸、4軸、5軸等，形式多樣，可根據(jù)需求定制。
壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)
壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)，可以360度旋轉(zhuǎn)平面，由高分辨率壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。提供開環(huán)和閉環(huán)版本。
壓電直線納米位移臺(tái)
直線運(yùn)動(dòng)納米壓電馬達(dá)位移平臺(tái)提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，移動(dòng)分辨率最小可達(dá)0.05nm。提供開環(huán)和閉環(huán)控制版本、大氣和真空兼容版本。