獨(dú)立軸運(yùn)動(dòng)： 在獨(dú)立軸運(yùn)動(dòng)中，每個(gè)軸可以單獨(dú)控制，實(shí)現(xiàn)沿著一個(gè)方向的準(zhǔn)確定位。對(duì)于每個(gè)軸，可以使用傳感器來監(jiān)測位置，并使用反饋控制算法來調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以使實(shí)際位置達(dá)到期望位置。這種控制方法適用于需要在單個(gè)方向上進(jìn)行準(zhǔn)確定位的情況。
多軸運(yùn)動(dòng)： 多軸運(yùn)動(dòng)涉及多個(gè)軸的協(xié)同控制，以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的定位和運(yùn)動(dòng)。在多軸運(yùn)動(dòng)中，需要考慮以下幾個(gè)方面：
坐標(biāo)變換： 不同軸的運(yùn)動(dòng)需要在實(shí)際樣品坐標(biāo)系中進(jìn)行協(xié)調(diào)。因此，需要進(jìn)行坐標(biāo)變換，將各個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為在樣品坐標(biāo)系中的運(yùn)動(dòng)。
運(yùn)動(dòng)軌跡規(guī)劃： 對(duì)于復(fù)雜的多軸運(yùn)動(dòng)，需要規(guī)劃合適的運(yùn)動(dòng)軌跡。這可能涉及到連續(xù)的曲線、圓弧、螺旋等軌跡，以滿足特定的實(shí)驗(yàn)需求。
運(yùn)動(dòng)插值： 對(duì)于多軸運(yùn)動(dòng)，可能需要在不同軸之間插值來實(shí)現(xiàn)平滑的運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)插值算法可以確保在多個(gè)軸上的運(yùn)動(dòng)協(xié)調(diào)和連續(xù)。
實(shí)時(shí)控制： 多軸運(yùn)動(dòng)需要實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)，能夠根據(jù)傳感器反饋和控制算法調(diào)整每個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)。這種控制系統(tǒng)通常需要高精度和快速的響應(yīng)能力。
協(xié)調(diào)算法： 協(xié)調(diào)多個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)需要使用協(xié)調(diào)算法，確保在各個(gè)軸之間實(shí)現(xiàn)平衡和協(xié)調(diào)的運(yùn)動(dòng)。常見的協(xié)調(diào)算法包括PID控制、模糊控制等。
優(yōu)化算法： 在一些情況下，可以使用優(yōu)化算法來找到多軸運(yùn)動(dòng)策略，以達(dá)到特定的目標(biāo)。
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納米位移臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、柔性鉸鏈機(jī)械系統(tǒng)、傳感器、控制器、軟件及標(biāo)定系統(tǒng)組成，是儀器和設(shè)備領(lǐng)域的共性關(guān)鍵器件。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空、國防軍工等領(lǐng)域。
納米位移臺(tái)的工作原理
納米位移臺(tái)主要采用運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。
內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)；通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。
以上就是納米位移臺(tái)的工作原理介紹，如果您想要了解更多位移臺(tái)相關(guān)信息及產(chǎn)品，歡迎您咨詢我們
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一個(gè)火柴盒大小、外殼包覆金屬的小方塊，通過電壓控制能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的位移，可以用于對(duì)精度要求高的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、制造和半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域。日前，在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智展示了該團(tuán)隊(duì)擁有核心技術(shù)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)。
隨著微電子、納米科技和人工智能等領(lǐng)域的進(jìn)一步發(fā)展，定位不僅在實(shí)驗(yàn)室用途廣泛，工業(yè)界的應(yīng)用也越來越多。
“這是我們的主要產(chǎn)品之一，過去常規(guī)的驅(qū)動(dòng)定位是利用電機(jī)控制，但我們采用的是稱為壓電陶瓷的材料，給電之后產(chǎn)生微小形變，利用這微米級(jí)的微小形變讓臺(tái)子發(fā)生位移?！痹S智介紹道，該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)一方面位移范圍大，另一方面定位精度可以達(dá)到零點(diǎn)幾個(gè)納米，與普通微米級(jí)別定位精度相差近萬倍。
與材料實(shí)驗(yàn)室其他主攻材料研究的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)不同，科研設(shè)備產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)的創(chuàng)業(yè)方向則在于“設(shè)備”。在該團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，小到一手可握的小零件，大到一人高的“大家伙”，各種不同設(shè)備都陳列其間，仿佛一間小型加工廠。
“如果說其他團(tuán)隊(duì)研究的是如何炒菜，那我們的研究就是怎么做一口鍋?！?/strong>許智解釋道，當(dāng)下國內(nèi)在科研儀器的研制方面相對(duì)落后，很多設(shè)備都需要進(jìn)口。然而，儀器設(shè)備對(duì)科研的重要性不亞于“一口好鍋”。
在他看來，儀器是科研的重要基礎(chǔ)，特別是對(duì)物理學(xué)家來說，科研的創(chuàng)新是從儀器創(chuàng)新開始的，有好的儀器才能做出好的結(jié)果,初走上“硬件研究”這條道路，與他的學(xué)習(xí)經(jīng)歷密切相關(guān)。
“過去做納米材料研究，先用顯微鏡觀察材料的原子結(jié)構(gòu)，把這個(gè)材料放到另外的設(shè)備上測量材料性質(zhì)，這是非原位的研究?！痹S智回憶道，2000年左右他還是一名研究生，導(dǎo)師提出了在觀察原子結(jié)構(gòu)的同時(shí)進(jìn)行測量的構(gòu)想，從而把材料結(jié)構(gòu)和性能完全關(guān)聯(lián)起來。
立項(xiàng)之后，他就跟著導(dǎo)師開始相關(guān)工作，開發(fā)出了當(dāng)時(shí)世界上的首臺(tái)原子級(jí)別的觀察與測量聯(lián)用的系統(tǒng)。這成為了許智“硬件創(chuàng)業(yè)”的一個(gè)起點(diǎn)。
松山湖材料實(shí)驗(yàn)室成立之后，許智全職來到了松山湖，開始專門研究起科研設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。“材料實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)立創(chuàng)新樣板工廠，專注于科研成果轉(zhuǎn)化。我們就意識(shí)到在實(shí)驗(yàn)室的這些技術(shù)，不光可以自己用，還應(yīng)該把它產(chǎn)業(yè)化，推廣給國內(nèi)外其他研究單位來用，提升國內(nèi)整體的儀器水平和科研水平?！?/strong>
具體到當(dāng)下的工作，該團(tuán)隊(duì)主要聚焦材料生長、材料表征和材料檢測三個(gè)方面。“我們的材料生長設(shè)備，生長的材料質(zhì)量比別人家都好，這是我們核心競爭力，也是在實(shí)驗(yàn)室多年積累的結(jié)果?！痹S智介紹，材料表征則屬于觀測范疇，通過掃描探針顯微鏡等設(shè)備，可以把材料表面原子結(jié)構(gòu)展現(xiàn)出來。此外利用該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的設(shè)備，還可以進(jìn)行原子層級(jí)的測量，研究材料不同條件下的性能特征。
目前，在創(chuàng)新樣板工廠，該團(tuán)隊(duì)致力于推動(dòng)從實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)到成熟產(chǎn)品的轉(zhuǎn)變，提升產(chǎn)品的穩(wěn)定性、易用性和質(zhì)量的一致性，讓產(chǎn)品逐步走向市場。
不過，科研儀器市場不同于普通消費(fèi)市場，具有自身特點(diǎn)?！氨热缡謾C(jī)公司一年可以賣幾千萬臺(tái)，但我面向研究單位賣儀器就不會(huì)賣到那么多。”許智表示，科研設(shè)備行業(yè)的突出特點(diǎn)是技術(shù)門檻高、產(chǎn)品附加值高，同時(shí)固定資產(chǎn)投入相對(duì)較低，不需要建設(shè)大規(guī)模生產(chǎn)線，一個(gè)團(tuán)隊(duì)20個(gè)人就能完成很多事情。
實(shí)際上，技術(shù)往往存在很大的溢出效應(yīng)，研制科研設(shè)備所得的技術(shù)在其他領(lǐng)域也有意想不到的功用。在實(shí)驗(yàn)室，他向記者展示了一種特制的探針，細(xì)至僅有一個(gè)原子。“這根針可以像手一樣在這個(gè)材料表面‘摸’，用原子來‘摸’原子，操作精度得非常高。通過探測針和樣品之間微弱的電流變化，來判斷接觸狀態(tài)，從而找出材料表面的原子排布。”
得益于在微小電流等弱信號(hào)探測方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，該團(tuán)隊(duì)開始拓展更廣闊的民用市場。近期，該團(tuán)隊(duì)正準(zhǔn)備圍繞疫情防控中存在的核酸檢測需求，啟動(dòng)快速核酸檢測項(xiàng)目。
“為了控制疫情，在武漢、北京等地都做了大量核酸檢測。但目前采用的方法較慢，今天檢測明天才有結(jié)果，另外篩查時(shí)一次好幾百萬的檢測量，為了降低成本，有時(shí)采取混合篩查手段，可能存在漏檢的問題?！?strong>許智介紹，該團(tuán)隊(duì)即將推出的快速核酸檢測技術(shù)，采用石墨烯生物傳感芯片，通過電學(xué)檢測，成本低、速度快、靈敏度高，只需5分鐘就能出結(jié)果。
這些技術(shù)，則都是基于該團(tuán)隊(duì)之前的技術(shù)積累。一是該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的材料生長設(shè)備能生長規(guī)?；摹⒕鶆虻氖┎牧?；二是基于該團(tuán)隊(duì)具備弱信號(hào)檢測方面的經(jīng)驗(yàn)和能力?！耙?yàn)椴《镜牧糠浅Ｉ?，它所能探測到電子信號(hào)比較微弱，這恰恰和我們做原子成像的經(jīng)驗(yàn)是相通的?！?/p>
許智認(rèn)為，相關(guān)技術(shù)的突破并不僅僅用于目前的科研設(shè)備，而是通過積累逐漸形成一定的技術(shù)儲(chǔ)備，遇到新的需求就可以很快實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)移和轉(zhuǎn)化。
依托材料實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新樣板工廠，該團(tuán)隊(duì)正快速推進(jìn)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
“松山湖處于大灣區(qū)核心地區(qū)，環(huán)境也很好。材料實(shí)驗(yàn)室無論是在給予的創(chuàng)業(yè)扶持，還是在住房、待遇等生活保障等方面都很到位?！痹S智表示，東莞在加工配套和潛在客戶對(duì)接方面，都對(duì)團(tuán)隊(duì)工作開展提供了比較好的條件，目前公司剛剛擴(kuò)充了市場銷售方面的人員，接下來會(huì)將一部分工作重.點(diǎn)轉(zhuǎn)向市場拓展，力爭跨過從科研到市場之間的“死亡谷”。
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