納米位移臺調(diào)整移動速度的常用方法和注意事項，內(nèi)容精煉、工程可操作：
一、降低自身運動引起的振動
平滑加減速
避免突然啟動或停止。
在控制軟件中設(shè)置加速度/減速度 Ramp。
對壓電或步進位移臺尤為重要，可減少超調(diào)和機械共振。
降低移動速度
高速移動易產(chǎn)生振動和機械噪聲。
掃描或定位盡量選擇低速模式。
優(yōu)化運動路徑
避免長距離高速連續(xù)移動。
對重復(fù)掃描，可分段移動并加入停頓。
二、減小外界環(huán)境振動
安裝減震平臺
氣浮桌、橡膠墊、阻尼板可隔離地面振動。
尤其適合高分辨 SEM 或 AFM 配套的納米位移臺。
遠離機械噪聲源
避免空調(diào)、真空泵、風(fēng)扇、電機等靠近。
對震動敏感的實驗，可采用軟管延長管道或遠程泵。
固定支撐結(jié)構(gòu)
位移臺和樣品支架應(yīng)緊固，避免松動。
輕微松動也會被放大為微米級振動。
三、利用閉環(huán)控制
開啟光柵或電容傳感器閉環(huán)反饋。
閉環(huán)可實時修正位移誤差，降低環(huán)境和機械振動影響。
閉環(huán)模式尤其在高速掃描和高精度定位下效果明顯。
四、溫度和熱擾動管理
持續(xù)運動會產(chǎn)生自發(fā)熱，導(dǎo)致熱膨脹或零漂。
預(yù)熱位移臺至工作溫度，或運動間加入等待時間。
實驗室溫度保持穩(wěn)定，可進一步降低熱致振動。