納米位移臺與普通位移臺在精度、驅(qū)動方式、應(yīng)用場景等方面有明顯區(qū)別，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：
1. 定位精度
納米位移臺：精度可達(dá)納米級，適合微小位移和高精度定位。
普通位移臺：精度通常為 微米級或更粗，適合一般機(jī)械定位或大行程運(yùn)動。
2. 運(yùn)動控制方式
納米位移臺：常用 壓電驅(qū)動或閉環(huán)電機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率、低滯后運(yùn)動。
普通位移臺：多用螺桿、步進(jìn)電機(jī)或直流電機(jī)驅(qū)動，精度受機(jī)械間隙和摩擦影響較大。
3. 行程范圍
納米位移臺：行程相對較小，一般從幾十微米到幾毫米，強(qiáng)調(diào)精度而非距離。
普通位移臺：行程大，從幾毫米到幾十厘米，適合宏觀定位。
4. 反饋與閉環(huán)控制
納米位移臺：通常配備傳感器（電容、激光或干涉），可閉環(huán)反饋保證重復(fù)精度。
普通位移臺：可能沒有精密反饋，或者只有粗略編碼器，重復(fù)性差。
5. 應(yīng)用場景
納米位移臺：掃描探針顯微鏡（AFM）、掃描電鏡（SEM）、光學(xué)微操控、納米級對準(zhǔn)和微加工。
普通位移臺：機(jī)械裝配、光學(xué)調(diào)節(jié)、顯微鏡粗調(diào)、一般實驗室位移。