納米位移臺(tái)為了實(shí)現(xiàn)高精度控制，通常都會(huì)配備反饋系統(tǒng)來實(shí)時(shí)檢測(cè)位移并修正誤差。常見的反饋方式主要有以下幾類：
1. 電容式位移傳感器
原理：通過測(cè)量電容隨位移變化來獲取位移量。
優(yōu)點(diǎn)：分辨率高（可到亞納米級(jí)）、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快。
缺點(diǎn)：對(duì)環(huán)境潔凈度要求高，容易受灰塵、濕度影響。
應(yīng)用：高精度掃描顯微鏡、精密對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
2. 光學(xué)干涉儀
原理：利用激光干涉原理，將位移轉(zhuǎn)化為干涉條紋的變化來測(cè)量。
優(yōu)點(diǎn)：精度高，可達(dá)皮米級(jí)；適合大行程位移測(cè)量。
缺點(diǎn)：系統(tǒng)復(fù)雜，對(duì)環(huán)境振動(dòng)和空氣擾動(dòng)敏感。
應(yīng)用：半導(dǎo)體設(shè)備、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、超精密加工。
3. 應(yīng)變片/壓電傳感器
原理：通過應(yīng)變片或壓電元件檢測(cè)驅(qū)動(dòng)器變形量，間接反映位移。
優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、響應(yīng)快。
缺點(diǎn)：長(zhǎng)期穩(wěn)定性較差，容易有漂移和非線性誤差。
應(yīng)用：成本敏感或中等精度要求的納米位移臺(tái)。
4. 電感式傳感器
原理：利用電感耦合隨位移變化的原理來檢測(cè)位移。
優(yōu)點(diǎn)：非接觸測(cè)量，適合中大行程，抗干擾能力強(qiáng)。
缺點(diǎn)：精度和分辨率比電容式和干涉儀低。
應(yīng)用：工業(yè)環(huán)境下的精密位移控制。
5. 光學(xué)編碼器
原理：通過光柵或編碼盤的位移變化，讀取光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)換成位移信息。
優(yōu)點(diǎn)：行程大，分辨率高（納米級(jí)），抗干擾性較好。
缺點(diǎn)：分辨率比電容式略低，對(duì)安裝和校準(zhǔn)要求高。
應(yīng)用：長(zhǎng)行程納米位移臺(tái)、多軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)。