納米位移臺(tái)的響應(yīng)速度通常非?？欤渚唧w快慢取決于驅(qū)動(dòng)方式、控制器設(shè)計(jì)以及負(fù)載條件。下面是詳細(xì)說(shuō)明： 一、典型響應(yīng)速度范圍 壓電驅(qū)動(dòng)型： 響應(yīng)時(shí)間通常在毫秒級(jí)，甚至可以達(dá)到微秒級(jí)。 這類位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高帶寬，非常適合高速掃描與振動(dòng)控制。 電機(jī)驅(qū)動(dòng)型（如步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)）： 響應(yīng)速度相對(duì)慢，通常在 幾十毫...

納米位移臺(tái)的定位誤差測(cè)量，是評(píng)估其精度與控制性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。測(cè)量時(shí)需要使用高精度儀器和嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)步驟。以下是常用的測(cè)量方法和流程說(shuō)明： 一、常用測(cè)量方法 激光干涉儀法 原理：利用干涉條紋位移測(cè)出臺(tái)面實(shí)際位移，與理論指令位移對(duì)比。 特點(diǎn)：分辨率極高（可達(dá)亞納米級(jí)），是最常用的精度校準(zhǔn)手段。 優(yōu)點(diǎn)：可實(shí)時(shí)...