納米位移臺(tái)的閉環(huán)控制 對(duì)分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉(zhuǎn)化為實(shí)際可用分辨率，同時(shí)減少非線性誤差和滯后效應(yīng)。下面詳細(xì)說明：
1. 閉環(huán)控制的基本原理
開環(huán)控制（Open-loop）：驅(qū)動(dòng)信號(hào)直接作用于位移臺(tái)，位移大小由輸入電壓或步進(jìn)決定。
缺點(diǎn)：受非線性、滯后、機(jī)械間隙、熱膨脹影響，實(shí)際位移可能與理論目標(biāo)偏差很大。
閉環(huán)控制（Closed-loop）：在位移臺(tái)上加裝傳感器（如電容尺、光柵尺、干涉儀），實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)際位置，將實(shí)際位移與目標(biāo)位移比較，通過控制器調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)，補(bǔ)償偏差。
核心：反饋補(bǔ)償 → 實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率運(yùn)動(dòng)
2. 閉環(huán)控制提升分辨率的機(jī)制
補(bǔ)償非線性與滯后
壓電驅(qū)動(dòng)臺(tái)固有的非線性、遲滯和蠕變會(huì)導(dǎo)致步長(zhǎng)不均勻。
閉環(huán)反饋通過實(shí)時(shí)測(cè)量實(shí)際位移并修正驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使最小步長(zhǎng)接近理論步長(zhǎng)。
減小環(huán)境干擾影響
振動(dòng)、溫度漂移、摩擦等造成的微小偏移，可被閉環(huán)系統(tǒng)實(shí)時(shí)修正。
例如，理論步長(zhǎng) 1 nm，開環(huán)可能因機(jī)械滯后只能實(shí)現(xiàn) 5–10 nm，有閉環(huán)后可接近 1 nm。
提高重復(fù)定位精度
閉環(huán)可保證每次重復(fù)運(yùn)動(dòng)到同一位置，避免累積誤差。
這對(duì)于需要納米級(jí)定位的掃描或加工任務(wù)很重要。