納米位移臺的 線性誤差（即實(shí)際位移與理論位移不完全一致）是影響定位精度的重要因素，其來源可以從機(jī)械、電氣和控制三個(gè)方面分析：
1. 機(jī)械結(jié)構(gòu)因素
導(dǎo)軌或滑塊幾何誤差
導(dǎo)軌直線度、平行度、傾斜度等不理想會導(dǎo)致位移偏差。
絲杠或螺桿傳動(dòng)誤差
螺距誤差、螺桿旋轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)向軸不完全同軸，會引起累積位移誤差。
柔性驅(qū)動(dòng)元件的彈性變形
包括柔性桿、彈簧、薄膜電驅(qū)動(dòng)器等，受力時(shí)會產(chǎn)生非線性變形，導(dǎo)致位移非線性。
摩擦與間隙
摩擦力不均或間隙存在時(shí)，啟動(dòng)力或反向運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)不同，產(chǎn)生滯后或非線性偏差。
2. 電氣與驅(qū)動(dòng)因素
驅(qū)動(dòng)器非線性
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器或電機(jī)驅(qū)動(dòng)的響應(yīng)非線性（例如壓電臺電壓與位移關(guān)系非線性）。
傳感器非線性
位移反饋傳感器（如電容、光柵尺、LVDT）測量非線性或靈敏度漂移會導(dǎo)致讀值偏差。
電氣噪聲和漂移
信號噪聲、溫度漂移或供電不穩(wěn)也會造成位移誤差波動(dòng)。
3. 控制與環(huán)境因素
閉環(huán)控制誤差
PID 或其它控制器參數(shù)不優(yōu)化，會出現(xiàn)跟隨誤差或滯后，表現(xiàn)為非線性。
溫度變化
材料熱膨脹或驅(qū)動(dòng)器熱效應(yīng)會改變位移特性，導(dǎo)致線性誤差隨溫度變化。
負(fù)載變化
臺面載荷變化會影響柔性驅(qū)動(dòng)或摩擦特性，從而引起非線性響應(yīng)。
振動(dòng)與外界干擾
環(huán)境振動(dòng)或沖擊也可能引起瞬態(tài)位移偏差。
4. 誤差表現(xiàn)形式
全程非線性：實(shí)際位移與理論位移曲線不成直線。
局部跳躍：摩擦/間隙導(dǎo)致短距離移動(dòng)不連續(xù)。
滯后與滯環(huán)：正向和反向運(yùn)動(dòng)曲線不重合。