卓聚科技小編為您介紹一下什么是納米位移臺(tái)以及納米位移臺(tái)的工作原理是什么。
納米位移臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、柔性鉸鏈機(jī)械系統(tǒng)、傳感器、控制器、軟件及標(biāo)定系統(tǒng)組成，是儀器和設(shè)備領(lǐng)域的共性關(guān)鍵器件。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空、國(guó)防軍工等領(lǐng)域。

納米位移臺(tái)的工作原理

納米位移臺(tái)主要采用運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。

內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)；通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

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