一、熱式原理質量流量計

優(yōu)勢：1：耐強腐蝕/高壓 2：長期穩(wěn)定性好 3：上市時間長

不足：怕水分

代表品牌：美國 MKS\BROOKS AALBORG，日本 HORIBA，德國寶德，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS

二 、壓差式原理質量流量計

優(yōu)勢：1：精度高 2：速度快 3：不怕水分

不足：1：有些強腐蝕氣體，不能制作 2：不能耐高壓

代表品牌：美國 ALCIAT-20KG，美國 AALBORG ，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS

三 、科里奧利（科氏）質量流量計

目前優(yōu)秀的測量原理，集熱式和壓差式的優(yōu)勢

價格比其它原理的高

代表品牌：荷蘭 Bronkhorst，美國 BROOKS，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS